沈丽娜

发布时间:2023-12-05浏览次数:246

导师姓名:沈丽娜

副教授、硕士生导师

研究领域:光信息处理、稀土发光

电子邮件:94423609@qq.com


教育背景

2012/9 – 2016/7,中国科学院大学,光学工程专业,工学博士。

2015/9 – 2008/7,华南师范大学,光学专业,理学硕士。

工作简历

2019/11–至今, 76net必赢官网,必赢76net线路,副教授,硕导。

2008/9–2019/10, 76net必赢官网,必赢76net线路,讲师。

研究方向

光信息处理及应用技术、稀土掺杂发光材料

主持科研项目

国家自然科学基金地区科学基金项目(项目编号:62264014),基于矢量成像分析的三维偏振像差检测方法研究,31万,2022/01-2026/12,在研。

国家自然科学基金应急管理项目(项目编号:61741514),高NA光刻投影物镜偏振像差的成像影响与检测方法研究,10万,2018/01-2018/12,已结题。

主要学术成果

期刊论文:

  1. Lina Shen, Xiangzhao Wang, Sikun Li, Guanyong Yan, Boer Zhu, Heng Zhang, General analytical expressions for impact of polarization aberration on lithographic imaging under linearly polarized illumination, J. Opt. Soc. Am. A, 2016, 33(6): 1112-1119

代表性发明专利:

  1. (授权发明专利)光刻机投影物镜偏振像差原位检测方法, 专利号:ZL201510777170.5 Z

    授权公告日2017.05.24,发明人:沈丽娜,王向朝,李思坤等